1、迅速撤离泄漏污染区员至安全区并进行隔离；
2、严格限制出入；
3、切断火源；
4、建议应急处理员戴自给压式呼吸器穿消防防护服风处进入现场 ， 尽能切断泄漏源防止进入水道、排洪沟等限制性空间量泄漏；
5、用砂土或其燃材料吸附或吸收量泄漏；
6、构筑围堤或挖坑收容；
【三氯氢硅泄漏应急处理措施】7、用泡沫覆盖，降低蒸气灾害 。

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