我国能制造光刻机 ， 当前中国肯定是有自己的能力生产光刻机的，只是技术确实跟人家有一定的差别 。
【我国能制造光刻机吗】光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等 。常用的光刻机是掩膜对准光刻 。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。

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