检测平整度用的是空气劈尖干涉原理 。
当光垂直入射时，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，当光波的光程差为波长的整数倍时 ， 形成明条纹，为半波长的奇数倍时，形成暗条纹 。而光程差取决于空气层的厚度，空气层厚度相同的位置明暗纹情况相同，若工件不平整，则条纹会凸起，向左向右都有可能，关键是看不平整的地方是凸起还是凹陷 。
【利用光的干涉检测平整度的原理】手压玻璃板时 ， 空气层厚度改变，会使得条纹移动 。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起)，凹陷(凸起)处空气层厚度和其左边工件平面上的空气厚度相同，所以条纹向左凸 。

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