利用光的干涉检测平整度的原理

检测平整度用的是空气劈尖干涉原理 。
当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时 , 形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹 。而光程差取决于空气层的厚度,空气层厚度相同的位置明暗纹情况相同,若工件不平整,则条纹会凸起,向左向右都有可能,关键是看不平整的地方是凸起还是凹陷 。
【利用光的干涉检测平整度的原理】手压玻璃板时 , 空气层厚度改变,会使得条纹移动 。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起),凹陷(凸起)处空气层厚度和其左边工件平面上的空气厚度相同,所以条纹向左凸 。

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