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硅料是重要的半导体材料,化学元素符号Si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能 。硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平 。
【硅料是什么东西】硅是元素半导体,电活性杂质磷和硼在合格半导体和多晶硅中应分别低于0.4ppb和0.1ppb 。拉制单晶时要掺入一定量的电活性杂质,以获得所要求的导电类型和电阻率 。重金属铜、金、铁等和非金属碳都是极有害的杂质,它们的存在会使PN结性能变坏 。硅中碳含量较高,低于1ppm者可认为是低碳单晶 。硅中氧含量甚高 。氧的存在有益也有害 。直拉硅单晶氧含量在5～40ppm范围内；区熔硅单晶氧含量可低于1ppm 。

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